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Parylene派瑞林鍍膜設備
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Parylene派瑞林鍍膜設備Labcoater Series 100是一款具備可更換工藝腔室的高性價比系統,廣泛應用于航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
該型號Parylene派瑞林鍍膜設備具有以下特點:
1、結構緊湊、配有移動式支架及小型冷阱,安裝位置靈活,便于實驗室布局調整;
2、特別適用于小批量生產及科研實驗場景;
3、可更換真空腔室設計有助于提升設備清潔效率;
4、配備可拆卸透明上蓋,便于實時觀察與基材更換操作;
5、系統集成自動工藝控制功能,并支持網絡連接,便于數據管理與遠程監控。
Labcoater Series 100派瑞林真空鍍膜系統:
尺寸 | L:850mm W:900mm H:1600mm |
重量 | 80kg |
腔體容量 | 30L |
工藝腔體 | 直徑300mm(其他尺寸可定制) |
冷卻系統 | 4L(機電式冷阱) |
真空連接 | DIN 25 ISO-KF |
排氣 | 電磁式排氣閥 |
真空泵 | 抽速10m3/h |
電氣連接 | 三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜機既有適用于科研領域的實驗型機型,也有適用于工業量產領域的工業機型。同時,我們也可以根據需求在真空腔體中集成等離子源,實現在沉積之前能夠對基材進行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統設計,在小占地面積下提供高性能技術,節約大量的超凈間占地空間。
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